Bahan Kimia Elektronik G4 Asam Fosfat (Bahan Kimia Basah Semikonduktor)

Bahan Kimia Elektronik G4 Asam Fosfat (Bahan Kimia Basah Semikonduktor)

Revisi Dokumen: 01
Tanggal Penerbitan: 02-09-2026
Standar yang Berlaku: Kelas SEMI G4 (Bahan Kimia Basah Semikonduktor Ultra-Kemurnian Tinggi)

Identifikasi Produk

 

Barang

Spesifikasi

Nama Produk

G4 Asam Fosfat

Kategori Produk

Bahan Kimia Basah Elektronik Semikonduktor

Nama Kimia

Asam Fosfat

Rumus Kimia

H₃PO₄

Nomor CAS.

7664-38-2

Berat Molekul

98.00

Nomor PBB

1805

Nilai

SEMI G4 Ultra-Kelas Elektronik dengan Kemurnian Tinggi

 

Ikhtisar Produk

 

Asam Fosfat G4 adalah asam anorganik lemah dengan kemurnian sangat-tinggi-yang dimurnikan secara khusus untuk fabrikasi wafer semikonduktor tingkat lanjut dan manufaktur mikroelektronika. Diproduksi melalui pemurnian multi-tahap, filtrasi ultra-halus, dan proses pengisian tertutup-ruangan bersih Kelas 1000, produk ini memiliki kandungan ion logam, pengotor anionik, dan partikel-mikro yang sangat rendah, sepenuhnya mematuhi standar semikonduktor internasional SEMI G4 yang ketat.

 

Bahan kimia ini memiliki kinerja etsa selektif yang sangat baik untuk silikon nitrida, film tipis aluminium, dan bahan dielektrik spesifik, dengan laju etsa yang stabil dan kemampuan pengendalian proses yang unggul. Hal ini menyebabkan kerusakan minimal pada substrat silikon dan lapisan oksida, secara efektif menghilangkan kontaminan sisa permukaan dan memenuhi persyaratan kebersihan yang sangat-tinggi untuk proses wafer tingkat lanjut. Kontrol pengotor yang ketat menghilangkan-risiko cacat mikro, memastikan hasil tinggi dan pengoperasian yang stabil untuk-produksi semikonduktor presisi tinggi.

 

Penampilan:Cairan kental tidak berwarna, transparan, seperti sirup, tidak berbau

 

Spesifikasi Teknis (Standar SEMI G4)

 

Barang Tes

Spesifikasi

Uji H₃PO₄

84,0 ~ 86.0% berat

Penampilan

Cairan kental transparan tidak berwarna & bening

Warna (APHA)

Kurang dari atau sama dengan 10

Kepadatan @ 20 derajat

1,68 ~ 1,71 gram/cm³

Residu Penguapan

Kurang dari atau sama dengan 30 ppb

Jejak Logam Individu (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr)

Masing-masing kurang dari atau sama dengan 10 ppb

Sulfat (SO₄²⁻)

Kurang dari atau sama dengan 30 ppb

Klorida (Cl⁻)

Kurang dari atau sama dengan 30 ppb

Nitrat (NO₃⁻)

Kurang dari atau sama dengan 30 ppb

Zat Pereduksi (sebagai H₃PO₃)

Kurang dari atau sama dengan 50 ppb

Partikel Lebih besar dari atau sama dengan 0,2μm

Kurang dari atau sama dengan 100 buah/mL

 

Catatan:Semua data pengujian didasarkan pada COA (Certificate of Analysis) spesifik batch.

 

Aplikasi (Proses Basah Semikonduktor)

 

Pengetsaan Film Silikon Nitrida & Aluminium:Bahan kimia pengetsaan basah inti untuk proses ujung depan-semikonduktor, digunakan untuk pengetsaan presisi film tipis Si₃N₄, gerbang logam aluminium, dan lapisan bantalan aluminium. Ini memiliki selektivitas etsa yang sangat baik, secara efektif melindungi silikon oksida dan substrat silikon sekaligus memastikan morfologi etsa yang seragam dan stabil.

Pembersihan Presisi Permukaan Wafer:Menghilangkan partikel-mikro, sisa pengotor anorganik, dan kontaminan jejak permukaan yang dihasilkan selama proses etsa dan pengendapan. Karakteristik ion-rendah menghindari polusi sekunder, menjaga kebersihan permukaan wafer yang sangat-tinggi untuk proses litografi dan pengendapan tingkat lanjut.

Formulasi Larutan Basah Majemuk:Digunakan untuk menyiapkan larutan etsa dan pembersihan campuran dengan kemurnian tinggi dan proses khusus semikonduktor, yang sesuai dengan persyaratan manufaktur mikronano presisi tinggi pada sirkuit terpadu.

MEMS & Kemasan Semikonduktor Tingkat Lanjut:Diterapkan untuk-pengetasan mikro dan perawatan permukaan perangkat MEMS,-sensor mikro, dan struktur pengemasan chip canggih, memastikan definisi pola yang tepat dan kinerja perangkat yang stabil.

 

Standar Pengemasan & Pengisian

 

Jenis Kemasan:Drum bersegel HDPE yang bersih-tingkat korosi-tahan, kemasan khusus asam fosfat dengan kemurnian-tinggi

Spesifikasi Umum:Drum kecil 25kg / 30kg, tas jinjing IBC tahan korosi 1000kg

Mengisi Lingkungan:Ruang bersih kelas 1000, sistem pengisian ultra-murni yang tertutup sepenuhnya, mengontrol masuknya partikel dan pengotor secara ketat untuk menghindari kontaminasi sekunder

Standar Penyegelan:Struktur tertutup-kekencangan tinggi-anti bocor, anti-polusi dan anti-kerusakan, memastikan-stabilitas kemurnian jangka panjang

 

Penyimpanan & Umur Simpan

 

● Simpan di gudang bahan kimia khusus yang sejuk, kering, dan berventilasi, tetap tertutup rapat, jauh dari sinar matahari langsung, suhu tinggi, dan sumber panas.

● Isolasi dari bahan alkali, oksidan kuat, serbuk logam, dan bahan korosif yang tidak kompatibel untuk mencegah reaksi kimia dan penurunan kemurnian.

● Hindari-penempatan terbuka jangka panjang dan penyerapan kelembapan untuk mencegah pengayaan pengotor dan perubahan kinerja.

● Umur Simpan:12 bulan dalam kondisi penyimpanan tertutup standar

 

Penanganan & Tindakan Pencegahan Keselamatan

 

● Asam fosfat bersifat cukup korosif dan higroskopis. Operator harus mengenakan APD lengkap standar: sarung tangan-tahan asam, kacamata pengaman bahan kimia, celemek-tahan korosi, dan pakaian kerja pelindung.

● Semua operasi pengenceran, pengambilan sampel dan penanganan harus dilakukan dalam lemari asam profesional untuk menghindari penghirupan kabut dan kontak langsung dengan kulit dan selaput lendir.

● Selama pengenceran, tambahkan asam fosfat secara perlahan ke dalam air deionisasi; jangan pernah menambahkan air ke dalam asam fosfat pekat untuk mencegah percikan dan cedera kimia.

● Jika terjadi percikan cairan, kontak dengan kulit, atau kebocoran, segera lakukan pembersihan darurat dan pembuangan sesuai dengan prosedur operasional standar.

● Lihat dokumen resmi SDS untuk informasi bahaya yang komprehensif, peraturan transportasi, dan tindakan-pertolongan pertama yang terperinci.

 

Jaminan Kualitas

 

Setiap batch Asam Fosfat G4 diproduksi, dimurnikan, dan diperiksa secara ketat sesuai dengan standar industri semikonduktor internasional SEMI G4. Setiap pengiriman dilengkapi dengan COA resmi khusus batch. Seluruh proses produksi dan pengisian mengadopsi kontrol kontaminasi-ruangan bersih yang ketat dan pengelolaan-kemurnian tinggi, memastikan pengotor yang sangat-rendah, konsistensi batch yang stabil, dan kemampuan adaptasi proses yang tinggi, sepenuhnya memenuhi persyaratan proses basah yang ketat dari manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.

 

Tag populer: bahan kimia elektronik g4 asam fosfat (bahan kimia basah semikonduktor), Cina bahan kimia elektronik g4 asam fosfat (bahan kimia basah semikonduktor), pemasok, pabrik

Kirim permintaan